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从沙子到芯片:且看处理器是怎样炼成的

可以说，中央处理器(CPU)是现代社会飞速运转的动力源泉，在任何电子设备上都可以找到微芯片的身影，不过也有人不屑一顾，认为处理器这东西没什么技术含量，不过是一堆沙子的聚合而已。是么？Intel今天就公布了大量图文资料，详细展示了从沙子到芯片的全过程，简单与否一看便知。
简单地说，处理器的制造过程可以大致分为[b]沙子原料(石英)、硅锭、晶圆、光刻(平版印刷)、蚀刻、离子注入、金属沉积、金属层、互连、晶圆测试与切割、核心封装、等级测试、包装上市[/b]等诸多步骤，而且每一步里边又包含更多细致的过程。
[align=left][url=http://www.kaixin001.com/img/20090709/02582141.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S02582141.jpg[/img][/url][/align]
下边就图文结合，一步一步看看：
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[b]沙子[/b]：硅是地壳内第二丰富的元素，而[b]脱氧后的沙子(尤其是石英)最多包含25％的硅元素[/b]，以[b]二氧化硅(SiO2)[/b]的形式存在，这也是半导体制造产业的基础。
[align=left][url=http://www.kaixin001.com/img/20090709/02584316.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S02584316.jpg[/img][/url][/align]
[b]硅熔炼[/b]：12英寸/300毫米晶圆级，下同。通过多步净化得到可用于半导体制造质量的硅，学名[b]电子级硅(EGS)[/b]，[b]平均每一百万个硅原子中最多只有一个杂质原子[/b]。此图展示了是如何通过硅净化熔炼得到大晶体的，最后得到的就是硅锭(Ingot)。
[align=left][url=http://www.kaixin001.com/img/20090709/02585313.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S02585313.jpg[/img][/url][/align]
[b]单晶硅锭[/b]：整体基本呈圆柱形，[b]重约100千克[/b]，[b]硅纯度99.9999％[/b]。
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[align=left][b]第一阶段合影[/b][/align]

[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03014116.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03014116.jpg[/img][/url][/align]
[b]硅锭切割[/b]：横向切割成圆形的单个硅片，也就是我们常说的晶圆(Wafer)。顺便说，这下知道为什么晶圆都是圆形的了吧？
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03014894.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03014894.jpg[/img][/url][/align]
[b]晶圆[/b]：切割出的晶圆经过抛光后变得几乎完美无瑕，表面甚至可以当镜子。[b]事实上，Intel自己并不生产这种晶圆，而是从第三方半导体企业那里直接购买成品，然后利用自己的生产线进一步加工[/b]，比如现在主流的45nm HKMG(高K金属栅极)。值得一提的是，Intel公司创立之初使用的晶圆尺寸只有2英寸/50毫米。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03020026.jpg][img=550,309]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03020026.jpg[/img][/url]
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[align=left][b]第二阶段合影[/b][/align]

[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03021197.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03021197.jpg[/img][/url][/align]
[b]光刻胶(Photo Resist)[/b]：图中蓝色部分就是在晶圆旋转过程中浇上去的光刻胶液体，类似制作传统胶片的那种。晶圆旋转可以让光刻胶铺的非常薄、非常平。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03022004.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03022004.jpg[/img][/url][/align]
[b]光刻[/b]：[b]光刻胶层随后透过掩模(Mask)被曝光在紫外线(UV)之下[/b]，变得可溶，期间发生的化学反应类似按下机械相机快门那一刻胶片的变化。掩模上印着预先设计好的电路图案，紫外线透过它照在光刻胶层上，就会形成微处理器的每一层电路图案。一般来说，在晶圆上得到的电路图案是掩模上图案的四分之一。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03022936.jpg][img=550,550]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03022936.jpg[/img][/url][/align]
[b]光刻[/b]：由此进入50-200纳米尺寸的晶体管级别。一块晶圆上可以切割出数百个处理器，不过从这里开始把视野缩小到其中一个上，展示如何制作晶体管等部件。晶体管相当于开关，控制着电流的方向。现在的晶体管已经如此之小，一个针头上就能放下大约3000万个。
[align=left][b][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03024447.jpg][img=550,309]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03024447.jpg[/img][/url][/b][/align]
[align=left][b]第三阶段合影[/b][/align]

[align=left][b][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03025752.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03025752.jpg[/img][/url][/b][/align]
[b]溶解光刻胶[/b]：光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉，清除后留下的图案和掩模上的一致。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03030694.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03030694.jpg[/img][/url][/align]
[b]蚀刻[/b]：使用化学物质溶解掉暴露出来的晶圆部分，而剩下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03031686.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03031686.jpg[/img][/url][/align]
[b]清除光刻胶[/b]：蚀刻完成后，光刻胶的使命宣告完成，全部清除后就可以看到设计好的电路图案。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03033068.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03033068.jpg[/img][/url]
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[align=left][b]第四阶段合影[/b][/align]

[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03034738.jpg][img=550,550]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03034738.jpg[/img][/url][/align]
[b]光刻胶[/b]：再次浇上光刻胶(蓝色部分)，然后光刻，并洗掉曝光的部分，剩下的光刻胶还是用来保护不会离子注入的那部分材料。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03040060.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03040060.jpg[/img][/url][/align]
[b]离子注入(Ion Implantation)[/b]：在真空系统中，用经过加速的、要掺杂的原子的离子照射(注入)固体材料，从而在被注入的区域形成特殊的注入层，并改变这些区域的硅的导电性。经过电场加速后，注入的离子流的速度可以[b]超过30万千米每小时[/b]。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03040897.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03040897.jpg[/img][/url][/align]
[b]清除光刻胶[/b]：离子注入完成后，光刻胶也被清除，而注入区域(绿色部分)也已掺杂，注入了不同的原子。注意这时候的绿色和之前已经有所不同。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03042505.jpg][img=550,309]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03042505.jpg[/img][/url]
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[align=left][b]第五阶段合影[/b][/align]

[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03043629.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03043629.jpg[/img][/url][/align]
[align=left][b]晶体管就绪[/b]：至此，晶体管已经基本完成。在绝缘材(品红色)上蚀刻出[b]三个孔洞[/b]，并填充铜，以便和其它晶体管互连。[/align][align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03045010.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03045010.jpg[/img][/url][/align]
[b]电镀[/b]：在晶圆上电镀一层硫酸铜，将铜离子沉淀到晶体管上。铜离子会从正极(阳极)走向负极(阴极)。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03045944.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03045944.jpg[/img][/url][/align]
[b]铜层[/b]：电镀完成后，铜离子沉积在晶圆表面，形成一个薄薄的铜层。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03051538.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03051538.jpg[/img][/url]
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[align=left][b]第六阶段合影[/b][/align]

[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03053480.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03053480.jpg[/img][/url][/align]
[b]抛光[/b]：将多余的铜抛光掉，也就是磨光晶圆表面。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03054904.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03054904.jpg[/img][/url][/align]
[b]金属层[/b]：晶体管级别，六个晶体管的组合，大约500纳米。在不同晶体管之间形成复合互连金属层，具体布局取决于相应处理器所需要的不同功能性。芯片表面看起来异常平滑，但事实上可能包含[b]20多层[/b]复杂的电路，放大之后可以看到极其复杂的电路网络，形如未来派的多层高速公路系统。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03061299.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03061299.jpg[/img][/url]
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[align=left][b]第七阶段合影[/b][/align]

[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03062633.jpg][img=550,550]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03062633.jpg[/img][/url][/align]
[b]晶圆测试[/b]：内核级别，大约10毫米/0.5英寸。图中是晶圆的局部，正在接受第一次功能性测试，使用参考电路图案和每一块芯片进行对比。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03063618.jpg][img=550,550]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03063618.jpg[/img][/url][/align]
[b]晶圆切片(Slicing)[/b]：晶圆级别，300毫米/12英寸。将晶圆切割成块，每一块就是一个处理器的内核(Die)。
[align=left][b][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03064555.jpg][img=550,550]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03064555.jpg[/img][/url][/b][/align]
[b]丢弃瑕疵内核[/b]：晶圆级别。测试过程中发现的有瑕疵的内核被抛弃，留下完好的准备进入下一步。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03065841.jpg][img=550,309]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03065841.jpg[/img][/url]
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[align=left][b]第八阶段合影[/b][/align]

[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03071113.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03071113.jpg[/img][/url][/align]
[b]单个内核[/b]：内核级别。从晶圆上切割下来的单个内核，这里展示的是Core i7的核心。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03072288.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03072288.jpg[/img][/url][/align]
[b]封装[/b]：封装级别，20毫米/1英寸。[b]衬底(基片)、内核、散热片[/b]堆叠在一起，就形成了我们看到的处理器的样子。衬底(绿色)相当于一个底座，并为处理器内核提供电气与机械界面，便于与PC系统的其它部分交互。散热片(银色)就是负责内核散热的了。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03073369.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03073369.jpg[/img][/url][/align]
[b]处理器[/b]：至此就得到完整的处理器了(这里是一颗Core i7)。这种在世界上最干净的房间里制造出来的最复杂的产品实际上是经过数百个步骤得来的，这里只是展示了其中的一些关键步骤。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03075007.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03075007.jpg[/img][/url]
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[align=left][b]第九阶段合影[/b][/align]

[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03075835.jpg][img=550,550]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03075835.jpg[/img][/url][/align]
[b]等级测试[/b]：最后一次测试，可以鉴别出每一颗处理器的关键特性，比如最高频率、功耗、发热量等，并决定处理器的等级，比如适合做成最高端的Core i7-975 Extreme，还是低端型号Core i7-920。
[align=left][b][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03081274.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03081274.jpg[/img][/url][/b][/align]
[b]装箱[/b]：根据等级测试结果将同样级别的处理器放在一起装运。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03082538.jpg][img]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03082538.jpg[/img][/url][/align]
[b]零售包装[/b]：制造、测试完毕的处理器要么批量交付给OEM厂商，要么放在包装盒里进入零售市场。这里还是以Core i7为例。
[align=left][url=http://news.mydrivers.com/img/20090709/03083876.jpg][img=550,309]http://news.mydrivers.com/img/20090709/S03083876.jpg[/img][/url]
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[align=left][b]第十阶段合影[/b][/align]
相关参考材料：
Intel 45nm Fab 32晶圆厂内景：
[url=http://news.mydrivers.com/1/93/93640.htm]http://news.mydrivers.com/1/93/93640.htm[/url]
AMD/GlobalFoundries德累斯顿晶圆厂内外景：
[url=http://news.mydrivers.com/1/129/129182.htm]http://news.mydrivers.com/1/129/129182.htm[/url]

[[i] 本帖最后由 mastersfree 于 2009-7-9 20:06 编辑 [/i]]

科技能变废为宝，中国在这方面跟国外差距还很大，硅的提纯不够高，大尺寸的硅圆也生产不出，在制程方面更是的依靠台湾的施舍（其他国家不给你先进的）

不错，不错，很精彩
不过我估计也只有比较专业的人才能看懂

终于看到详细的介绍了，以前只知道CPU来自于晶圆。。。。张见识了，谢谢分享

真是长见识了，特别是图文并茂，有收藏下的必要

这就是科技改变未来啊，美国人就是牛，中国自己造了太贵了

以前不知道硅是什么提练出来的，看完楼主的帖子才知道是沙子
长见识了，谢谢

嗯，卖沙子去。。。。。卖给INTER和AMD去。。。。

不赖不赖，真的是长见识了，图文并茂啊。一个小小的芯片要这么多的工序，人类的只会真的不可思议啊

笨蛋 这个就是弄给非专业人士看的 什么叫只有专业人士才能看懂？

原来CPU是这样高的  了解了大致流程!

哎，什么时候我们中国能掌握这种技术啊，期待中

哈哈，这个也太强了吧，真正的资源回收利用，正所谓的垃圾都可以变成黄金。

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实在是长见识啊，过程细致，便于理解阅读，

原来传说中的晶圆是这么来的！想生产一个cpu是很多知识综合运用的结果！

如果你能把沙子做好，就是你的本事。沙子能做很多事情呢。

今天算长见识了·原来我们用的CPU就是沙子啊 感叹人类的智慧

话说我当年写论文做实验的时候，就用过光刻，设备当然和INTEL比起来差很多，但是，依然自我感觉很高端

这个控制的难度也忒高了吧...一沙一世界呀！ 为什么网卡等非要做的那么大呢  费解啊